クリーンルーム内の環境分析(陰イオン・金属分析)

 クリーンルームとは、「コンタミネーションコントロールが行なわれている限られた空間であって、
空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、
その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、
必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行なわれている空間」と定義されています。
(JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語)
 クリーンルームの適用範囲は、半導体・電子工業、精密工業、食品工業から医療分野まで多岐にわたっています。
クリーンルームの清浄度を維持管理することは、製品の品質管理を行なううえで大変重要になってきます。
 当センターでは、クリーンルームの維持管理のためにクリーンルーム内の環境分析(陰イオン・金属分析など)を
行なっております。

インピンジャーを用いた陰イオンや金属のサンプリング
 クリーンルーム内の空気を吸収液の入ったインピンジャー内を通過させ、目的の物質を吸収液中に捕集します。
空気の吸引にはミニポンプを用い、捕集した陰イオンや金属はICP-MSやイオンクロマトグラフにより定量します。

パーティクルカウンター

パーティクルカウンターによるクリーンルーム内への吸入空気中の微粒子(クリーン度)の測定